如核磁設(shè)備、等離子發(fā)生器和激光器等
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48V 65V
HFA和HCA系列有65V和48V兩種輸出電壓,可應(yīng)用于核磁設(shè)備和激光器中最新型射頻放大器。
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效率可達(dá)94%
通過(guò)寬帶隙半導(dǎo)體(碳化硅)實(shí)現(xiàn)電源的高效率。
200VAC-480VAC
可應(yīng)對(duì)全球不同的三相
輸入電壓
HFA和HCA在不同的三相輸入電壓條件下均可正常工作,電源全球通用。高效率使電源在200VAC輸入時(shí)仍可滿載工作。
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符合SEMI-F47標(biāo)準(zhǔn)。
適合半導(dǎo)體制程設(shè)備。 -
功率可達(dá)31500W
多種串并聯(lián)組合適用于各類設(shè)備
※ 輸出接地間耐壓為2000VAC
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- 激光器
- 等離子發(fā)生器
- 核磁設(shè)備
- 感應(yīng)加熱系統(tǒng)
- 高頻放大器